目次
一般石英材
製造方法 | 電気溶融(無水) | ||||||
材質名 | 一般材A | 一般材B | 一般材C | 一般材D | 一般材E | 一般材F | |
形状 | Ingot | Tube Rod |
Tube Cylinder |
Tube | Tube Rod Plate |
Tube Rod |
|
不純物データ (ppm by weight) | Al | 14 | 14 | 16 | 18 | 15 | 20 |
Ca | 0.4 | 0.4 | 0.8 | 2.6 | 0.5 | 0.8 | |
Cu | <0.05 | <0.05 | - | - | <0,05 | <0.03 | |
Fe | 0.2 | 0.2 | 0.3 | 0.4 | 0.1 | 0.5 | |
Li | 0.6 | 0.6 | 0.7 | 1.6 | 0.6 | 0.2 | |
Mg | 0.1 | 0.1 | - | - | 0.05 | - | |
Mn | <0.05 | <0.05 | - | - | <0,05 | - | |
K | 0.6 | 0.6 | 0.9 | 0.7 | 0.4 | 0.7 | |
Na | 0.7 | 0.7 | 0.9 | 1.7 | 0.3 | 0.9 | |
Ti | 1.1 | 1.1 | 1.5 | 1.6 | 1.1 | - | |
Zr | 0.8 | 0.8 | - | - | 1.1 | - | |
OH Content | <5 | 10 | 15~35 | 15~35 | 20 | 150 | |
Softing Point | 1,683℃ | 1,683℃ | 1,730℃ | 1,730℃ | 1,730℃ | 1,720℃ | |
Annealing Point | 1,215℃ | 1,215℃ | 1,180℃ | 1,165℃ | 1,180℃ | 1,170℃ | |
Strain Point | 1,120℃ | 1,120℃ | 1,075℃ | 1,075℃ | 1,075℃ | 1,060℃ |
製造方法 | 電気溶融(無水) | ||||
材質名 | 一般材G | 一般材H | 一般材I | 一般材J | |
形状 | Tube Rod |
Tube Rod |
Tube Rod Ingot |
Tube Rod |
|
不純物データ (ppm by weight) | Al | 8 | 8 | 15 | 18 |
Ca | - | - | 0.6 | 0.6 | |
Cu | 0.02 | 0.01 | 0.02 | - | |
Fe | 0.3 | 0.1 | 0.2 | 0.5 | |
Li | - | - | 0.5 | 0.7 | |
Mg | - | - | 0.1 | 0.06 | |
Mn | - | - | <0.05 | - | |
K | 0.8 | 1 | 0.6 | 0.6 | |
Na | 0.8 | 1 | 0.8 | 0.9 | |
Ti | - | - | 1.4 | - | |
Zr | - | - | - | - | |
OH Content | 30 | 1 | 10 | 30 | |
Softing Point | 1,670℃ | 1,660℃ | 1,720℃ | 1,700℃ | |
Annealing Point | 1,215℃ | 1,220℃ | 1,220℃ | 1,220℃ | |
Strain Point | 1,125℃ | 1,130℃ | 1,120℃ | - |
製造方法 | 酸水素溶融(有水) | ||||||
材質名 | 一般材K | 一般材L | 一般材M | 一般材N | 一般材O | 一般材P | |
形状 | Tube Rod Plate |
Tube Rod |
Tube Rod Ingot |
Tube Rod |
Ingot | Ingot | |
不純物データ (ppm by weight) | Al | 15 | 8 | 8 | 17 | 17 | 17 |
Ca | 0.6 | - | 0.6 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | |
Cu | <0.05 | 0.01 | 0.01 | <0.01 | 0.01 | <0.01 | |
Fe | 0.2 | 0.3 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | |
Li | 0.4 | - | 0.1 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | |
Mg | 0.1 | - | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | |
Mn | 0.05 | - | <0.05 | 0.02 | 0.02 | 0.02 | |
K | 0.7 | 0.8 | 0.2 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
Na | 0.8 | 0.8 | 0.5 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | |
Ti | 1.1 | - | 1.6 | 1.1 | 1.1 | 1.1 | |
Zr | 1.1 | - | - | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
OH Content | 175 | 200 | 200 | 170 | 170 | 170 | |
Softing Point | 1,730℃ | 1,660℃ | 1,720℃ | 1,730℃ | 1,730℃ | 1,730℃ | |
Annealing Point | 1,180℃ | 1,190℃ | 1,180℃ | 1,190℃ | 1,190℃ | 1,190℃ | |
Strain Point | 1,075℃ | 1,090℃ | 1,070℃ | 1,080℃ | 1,080℃ | 1,080℃ |
高純度石英材
製造方法 | 電気溶融(無水) | ||||||
材質名 | 高純度材A | 高純度材B | 高純度材C | 高純度材D | 高純度材E | 高純度材F | |
形状 | Tube | Tube Rod |
Tube | Ingot | Tube Cylinder |
Tube Cylinder |
|
不純物データ (ppm by weight) | Al | 14 | 8 | 8 | 8 | 8 | 8 |
Ca | 0.4 | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.2 | 0.6 | |
Cu | <0,01 | <0,03 | <0,01 | <0,05 | - | - | |
Fe | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.4 | 0.3 | |
Li | 0.001 | <0.2 | 0.001 | <0.2 | 0.4 | 0.3 | |
Mg | 0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | - | - | |
Mn | <0.05 | <0,03 | <0,03 | <0,03 | - | - | |
K | <0.2 | <0.2 | <0.2 | <0.2 | 0.3 | 0.3 | |
Na | <0.1 | <0.2 | 0.1 | <0.2 | 5 | 0.6 | |
Ti | 1.1 | 1.4 | 1.4 | 1.4 | <0.2 | 1.5 | |
Zr | 0.8 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | - | - | |
OH Content | 10 | 10 | 10 | <5 | 15~35 | 15~35 | |
Softing Point | 1,683℃ | 1,683℃ | 1,683℃ | 1,683℃ | 1,730℃ | 1,730℃ | |
Annealing Point | 1,215℃ | 1,215℃ | 1,215℃ | 1,215℃ | 1,170℃ | 1,200℃ | |
Strain Point | 1,120℃ | 1,120℃ | 1,120℃ | 1,120℃ | 1,075℃ | 1,075℃ |
製造方法 | 電気溶融(無水) | ||||||
材質名 | 高純度材G | 高純度材H | 高純度材I | 高純度材J | 高純度材K | 高純度材L | |
形状 | Tube Cylinder |
Tube Rod Plate |
Tube Rod Plate |
Tube | Tube Rod Plate |
Tube Rod |
|
不純物データ (ppm by weight) | Al | 8 | 15 | 15 | 15 | 15 | 9 |
Ca | 0.5 | 0.8 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.6 | |
Cu | - | <0,05 | <0,05 | <0,05 | <0,05 | <0.03 | |
Fe | 0.3 | 0.4 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.3 | |
Li | <0.2 | 1.2 | 0.6 | 0.6 | 0.05 | 0.1 | |
Mg | - | 0.1 | <0,05 | 0.05 | 0.05 | - | |
Mn | - | 0.1 | <0,05 | <0,05 | <0,05 | - | |
K | <0.2 | 0.8 | 0.3 | 0.4 | 0.1 | 0.3 | |
Na | <0.2 | 0.9 | 0.1 | 0.3 | 0.05 | 0.3 | |
Ti | - | 1.5 | 1.1 | 1.1 | 1.1 | - | |
Zr | - | 0.8 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | - | |
OH Content | 15~35 | – | 20 | 30 | 20 | 150 | |
Softing Point | 1,730℃ | 1,710℃ | 1,730℃ | 1,730℃ | 1,730℃ | 1,720℃ | |
Annealing Point | 1,210℃ | 1,220℃ | 1,180℃ | 1,180℃ | 1,180℃ | 1,170℃ | |
Strain Point | 1,075℃ | 1,125℃ | 1,075℃ | 1,075℃ | 1,075℃ | 1,060℃ |
製造方法 | 電気溶融(無水) | |||||
材質名 | 高純度材M | 高純度材N | 高純度材O | 高純度材P | 高純度材Q | |
形状 | Tube Rod |
Tube Rod |
Tube Rod |
Tube Rod |
Tube Rod Ingot |
|
不純物データ (ppm by weight) | Al | 8 | 8 | 8 | 8 | 15 |
Ca | 0.4 | - | - | - | 0.6 | |
Cu | <0.03 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
Fe | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.2 | |
Li | 0.1 | - | - | - | 0.2 | |
Mg | - | - | - | - | 0.1 | |
Mn | - | - | - | - | <0.05 | |
K | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.6 | |
Na | 0.1 | 0.2 | 0.2 | 0.05 | 0.2 | |
Ti | - | - | - | - | 1.4 | |
Zr | - | - | - | - | - | |
OH Content | 150 | 30 | 1 | 1 | 10 | |
Softing Point | 1,720℃ | 1,670℃ | 1,660℃ | 1,660℃ | 1,720℃ | |
Annealing Point | 1,170℃ | 1,215℃ | 1,220℃ | 1,220℃ | 1,220℃ | |
Strain Point | 1,060℃ | 1,125℃ | 1,130℃ | 1,130℃ | 1,120℃ |
製造方法 | 酸水素溶融(有水) | |||||
材質名 | 高純度材R | 高純度材S | 高純度材T | 高純度材U | 高純度材V | |
形状 | Tube Rod Plate |
Tube Rod |
Tube Rod Ingot |
Ingot | Ingot | |
不純物データ (ppm by weight) | Al | 8 | 8 | 8 | 8 | 8 |
Ca | 0.5 | - | 0.5 | 0.4 | 0.5 | |
Cu | <0,05 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | <0.01 | |
Fe | 0.2 | 0.4 | 0.1 | 0.2 | 0.04 | |
Li | 0.2 | - | 0.1 | 0.2 | 0.2 | |
Mg | <0,05 | - | 0.1 | 0.03 | 0.03 | |
Mn | <0,05 | - | <0.05 | <0.01 | 0.01 | |
K | <0.1 | 0.05 | 0.1 | 0.05 | 0.03 | |
Na | <0,05 | 0.05 | 0.1 | <0.08 | 0.02 | |
Ti | 1.4 | - | 1.5 | 1.5 | 1.5 | |
Zr | 0.7 | - | - | <0.01 | 0.01 | |
OH Content | 175 | 200 | 200 | 170 | 170 | |
Softing Point | 1,730℃ | 1,660℃ | 1,720℃ | 1,730℃ | 1,730℃ | |
Annealing Point | 1,180℃ | 1,200℃ | 1,180℃ | 1,190℃ | 1,190℃ | |
Strain Point | 1,075℃ | 1,100℃ | 1,070℃ | 1,080℃ | 1,080℃ |
合成石英材
製造方法 | Electrically Fused | Flame Fused | |||||
材質名 | 合成石英材A | 合成石英材B | 合成石英材C | 合成石英材D | 合成石英材E | 合成石英材F | |
形状 | Tube | Ingot | Tube Rod Plate |
Tube Rod Plate |
Tube Rod Plate |
Tube Rod |
|
不純物データ (ppm by weight) | Al | 0.2 | 0.2 | <0,01 | <0,01 | <0,01 | 0.1 |
Ca | <0,05 | <0,05 | <0,01 | <0,01 | <0,01 | - | |
Cu | <0,05 | <0,05 | <0,01 | <0,01 | <0,01 | <0.01 | |
Fe | 0.07 | 0.07 | <0,01 | <0,01 | <0,01 | 0.1 | |
Li | <0,05 | <0,05 | <0,01 | <0,01 | <0,01 | - | |
Mg | 0.05 | 0.05 | <0,01 | <0,01 | <0,01 | - | |
Mn | <0,02 | <0,02 | - | - | - | - | |
K | 0.1 | 0.1 | <0,01 | <0,01 | <0,01 | 0.05 | |
Na | 0.1 | 0.1 | <0,01 | <0,01 | <0,01 | 0.05 | |
Ti | <0,02 | <0,02 | - | - | - | - | |
Zr | <0,02 | <0,02 | - | - | - | - | |
OH Content | <10 | <10 | 250 | 250 | 250 | 800 | |
Softing Point | 1,683℃ | 1,683℃ | 1,600℃ | - | - | - | |
Annealing Point | 1,215℃ | 1,215℃ | 1,120℃ | - | - | - | |
Strain Point | 1,120℃ | 1,120℃ | 1,025℃ | - | - | - |
製造方法 | Flame Fused | Synthetic Flame Hydrolysis |
VAD Process | ||||
材質名 | 合成石英材G | 合成石英材H | 合成石英材I | 合成石英材J | 合成石英材K | 合成石英材L | |
形状 | Tube Rod |
Tube Rod Ingot |
Tube Rod Ingot |
Tube Rod |
Tube Rod Ingot |
Tube Rod Ingot |
|
不純物データ (ppm by weight) | Al | 0.03 | <0.02 | 0.1 | <0.04 | <0.01 | <0.01 |
Ca | - | <0.01 | 0.1 | <0.04 | <0.01 | <0.01 | |
Cu | <0.01 | <0.01 | 0.01 | 0.03 | <0.01 | <0.01 | |
Fe | 0.02 | <0.01 | 0.05 | <0.05 | <0.01 | <0.01 | |
Li | - | <0.01 | 0.05 | 0.03 | <0.01 | <0.01 | |
Mg | - | <0.01 | <0.01 | 0.003 | <0.01 | <0.01 | |
Mn | - | <0.01 | <0.01 | 0.005 | <0.01 | <0.01 | |
K | 0.03 | <0.01 | 0.05 | 0.02 | <0.01 | <0.01 | |
Na | 0.05 | <0.01 | 0.05 | 0.02 | <0.01 | <0.01 | |
Ti | - | <0.01 | <0.01 | 0.01 | <0.01 | <0.01 | |
Zr | - | <0.01 | - | 0.02 | - | - | |
OH Content | 800 | 1,000 | 1,000 | <200 | 100 | <10 | |
Softing Point | - | 1,710℃ | - | 1,700℃ | - | - | |
Annealing Point | - | 1,100℃ | 1,080℃ | 1,160℃ | - | - | |
Strain Point | - | 990℃ | 970℃ | 1,060℃ | - | - |
製造方法 | VAD Process | VAD Process Anhydrous | |||
材質名 | 合成石英材M | 合成石英材N | 合成石英材O | 合成石英材P | |
形状 | Tube Rod Ingot |
Tube Rod Ingot |
Tube Rod |
Tube Rod |
|
不純物データ (ppm by weight) | Al | <0.01 | <0.01 | <0.04 | <0.04 |
Ca | <0.01 | <0.01 | <0.04 | <0.04 | |
Cu | <0.01 | <0.01 | 0.03 | 0.03 | |
Fe | <0.01 | <0.01 | 0.02 | 0.02 | |
Li | <0.01 | <0.01 | 0.02 | 0.02 | |
Mg | <0.01 | <0.01 | 0.003 | 0.003 | |
Mn | <0.01 | <0.01 | 0.005 | 0.005 | |
K | <0.01 | <0.01 | 0.02 | 0.02 | |
Na | <0.01 | <0.01 | 0.02 | 0.02 | |
Ti | <0.01 | <0.01 | 0.01 | 0.01 | |
Zr | - | - | 0.02 | 0.02 | |
OH Content | <1 | 50 | <1 | <5 | |
Softing Point | - | - | 1,700℃ | 1,700℃ | |
Annealing Point | - | - | 1,160℃ | 1,160℃ | |
Strain Point | - | - | 1,060℃ | 1,060℃ |
Quartz Wool
Maker | TSL | TSL | |
Grade | 4 micron | 9 Micron | |
Shape | Wool | Wool | |
Typical Trace Element Composition (ppm by weight) | Al | 30 | 18 |
Ca | 8 | 0.5 | |
Cu | 0.2 | <0.03 | |
Fe | 11 | 0.6 | |
Li | 0.7 | 0.7 | |
Mg | 4 | 0.06 | |
Mn | - | - | |
K | 1.2 | 0.6 | |
Na | 2 | 0.8 | |
Ti | 3 | 1.5 | |
Zr | - | - | |
OH Content | - | - | |
High Temparature use | 1,050℃ | 1,050℃ |