炉芯管(プロセスチューブ・二重管・反応管・アウターチューブ・インナーチューブ)
石英硝子の特徴である「耐熱性」「高純度」は半導体デバイスの製造工程においては必須の条件です。
そのため拡散工程やCVD工程で使用される「拡散炉」や「CVD炉」と言われる製造装置では石英硝子が使われます。石英硝子はその種類により1,100℃、一時的な耐熱であれば1,300℃まで耐えられるものもあります。
また、シリコンウエハーに代表される半導体では製造工程では不純物を嫌いますので高純度な石英硝子（SiO2 99.99%）が求められています。
石英炉心管は縦型と横型のタイプがございます。
ウエハー径が4インチ～6インチ位までは主に横型の装置が多く、6インチ以上の口径では主に縦型の装置が用いられます。
弊社では横型、縦型のどちらの炉心管も製作できます。また、この炉心管と合わせて使用する石英ボートや様々な石英の治工具も併せて製作しております。破損、硝子の汚れ、失透等の修理対応もおこなっております。
ウェハー用石英ボート
石英ボートは半導体デバイスの製造工程の主に「拡散、CVD」と言われる工程で使用されます。
「拡散炉」「CVD炉」と呼ばれる電気炉では1,000℃付近で使用される場合もあり、また、不純物を嫌いますので耐熱性が高く、不純物含有が少ない石英硝子が炉心管など併せて使用されます。
拡散やCVD工程で使われる石英ボートは横型と縦型の2種類あり、ウエハーサイズが4インチ～6インチの小径は横型が多く、6インチ～8インチ、さらに12インチの大口径のウエハーでは縦型が多く使われています。
これは拡散炉やCVD炉と言われる装置の起因するもので横型ではウエハーが立っている状態（写真１）、縦型はウエハーが水平な状態（写真2）となります。
ウエハーが汚染されないよう高純度な石英硝子を使い、縦型、横型どちらでもご要望にお応えして製作致します。