酸化・拡散／CVD工程 半導体用途・研究用途で使用される石英炉芯管(反応管・二重管・アウター・インナー)を各種・サイズにて製作加工に対応可能 洗浄工程 半導体用途・研究用途で使用される角槽、石英槽、クォーツバスを各種・サイズにて製作加工に対応可能 エッチング/アッシング工程 半導体デバイス製造工程の「ドライエッチング工程」「アッシング工程」では石英ベルジャー、あるいは石英チャンバーと言われるものが使われます。 露光工程 フォトマスクは半導体デバイス製造工程でウエハーに回路を転写するための回路原版で半導体製造工程に欠かせない主要部材です。 半導体デバイス製造工程で使われる「その他の製品」 半導体デバイスの製造工程では様々な石英製品が使われています。 大型製品/微細製品 石英での大型加工品の特注加工品もお受けしております。 検査 半導体デバイスの製造工程で使われる石英製品は、材料の純度や寸法に高い精度が求められます
