よくあるご質問

半導体部品の洗浄工程は脱脂洗浄、フッ酸洗浄、純水洗浄、乾燥などの工程があります。フッ酸は純水で希釈し、濃度、汚れに合わせて洗浄の時間は調整されます。

半導体製造に使われる部品の洗浄工程は、それぞれの基準が細かく設けられている場合が多いです。

• 脱脂洗浄：部品表面の有機物質の付着量の基準
• フッ酸洗浄：表面エッチングされた量の基準
• 純水洗浄：表面粒子（パーティクル）の量の基準

これらの洗浄のプロセスについては、業界基準や国際基準はなく、ユーザー毎、装置メーカー毎で規定されており公開はされません。各工場における洗浄プロセスの取り決めに従って行われます。

一般的にはレーザー加工の精度は2～3μｍ以上、マシンニング加工は10μｍ以上の精度になります。

上記は一般論であり、実際の加工品にもよって異なります。

一例として、石英ガラス加工における研磨加工の動画をこちらからご覧いただけます。

レーザーとマシニング、それぞれの寸法精度に不安がある方へ、±0.01mmの精度が必要な場合にも、要求精度に合わせたご提案が可能です。

一般的に合成石英は以下ような性質を持っています。

• 不純物含有量が極めて少ない
• 全波長の光に対して高い透過率（９０％以上）

このような性質から合成石英はよく光学用途に使われます。

これに対し、電気溶融石英は、紫外線部分の波長の透過率が低くなります。不純物も合成石英より若干多くなりますが、その差異はPPMレベルです。

より詳しく知りたい場合は、こちらのページで解説しています。

主に不純物の含有量、耐熱性能、耐熱衝撃性能、光学性能の三つの方面が優れています。

この優れた性質のため、石英ガラスは高純度材料として半導体産業でよく使われています。

具体的には、二酸化ケイ素以外の物質はPPMレベルしか入っておらず、不純物を嫌う半導体工程に向いています。
この点、一般のガラス材料は不純物が多く使うことができません。

石英ガラスは耐熱性能も高く、1000度まで耐えますが、一般のガラス材料は700度前後で変形してしまいます。

耐熱衝撃性能ですが、石英は温度変化による膨張はほとんどないため、直接火で焼いても、お湯をかけても割れません。しかし一般のガラス材料はヒビが入ったり割れが生じます。

光学性能では、石英ガラスがほぼ全波長の光を透過させます。これに対し、一般のガラス材料は一部の波長しか透過させることができません。特に紫外線部分の透過は一般のガラスでは難しいため石英ガラスが用いられます。

高温プロセスや化学的環境に長期間さらされることで、透明だった石英ガラスが白濁する「失透（devitrification）」という現象が発生します。

石英ガラス（溶融石英）はその高純度・耐熱性・化学的安定性により、半導体製造装置をはじめ、理化学機器、光学装置、太陽電池製造、分析装置など幅広い分野で使用されています。

本記事では、石英ガラスを使用するあらゆる現場の技術者・製造担当者の方々に向けて、失透のメカニズム、予防策、さらには再生技術（石英管の「焼き上げ修理」）について解説します。

１．石英ガラスはなぜ失透するのか？

１－１　失透のメカニズム

石英ガラスはSiO2（酸化ケイ素）から成る非晶質（アモルファス）構造を持つガラスです。この構造は、規則性のない網目構造で、光の散乱が少ないため高い透明性を誇ります。

しかし、長時間にわたり高温環境（1100℃以上）に晒されることで、構造が安定を失い、結晶構造（クリストバライトやトリジマイト）へと変化します。この相転移が失透の根本原因です。

写真１ 失透した石英管

失透の主な原因とメカニズム

原因	内容
高温加熱（概ね1100℃以上）	長時間の高温加熱により、非晶質構造が安定性を失い、 SiO2が結晶化して失透します。特に1250℃以上では顕著です。
不純物の存在	アルカリ金属やアルミニウム、ナトリウムなどの不純物が結晶核として働き、結晶化を促進します。
表面傷や微粒子の付着	微細なキズや粉塵は結晶核の起点となり、失透が始まりやすくなります。
加熱・冷却サイクルの繰り返し	熱応力によって構造が乱れ、局所的に結晶化が進むことがあります。

１－２　高温が失透に与える影響 — 熱履歴と結晶化の関係

石英ガラスは、1100℃を超える高温環境に長時間さらされると、そのアモルファス構造が徐々に崩れ、クリストバライトやトリジマイトといった結晶相への相転移が生じます。以下に、その物理的・熱的なメカニズムを詳述します。

１－３　失透が起こりやすくなる温度域と滞留時間

• クリティカル温度域：1100〜1250℃
  この温度範囲では、石英の分子運動が活発になり、局所的な構造ゆらぎが増加します。
  表面に結晶核が存在している場合、ここから急速に結晶成長が進行します。
• 1300℃以上では、より迅速な失透が生じるリスクが高まります。
  特に繰り返し加熱（サーマルサイクル）によって、微細なクラックや欠陥が結晶成長の起点となることがあります。
• 時間の影響
  高温への滞留時間が長いほど失透は進行します。
  例えば、同じ温度でも1時間と10時間では失透の進行度に大きな差が生じます。

１－４　失透を引き起こす不純物の影響 — ナトリウム・金属・有機物

石英ガラスの失透を引き起こす最大の要因の一つが「不純物の付着」です。特に高温を扱う装置や環境では、各種装置・作業環境由来の不純物がガラス表面に蓄積し、結晶化の起点となることがあります。

１－５　代表的な不純物とその影響

• (1) ナトリウム（Na）
  • 人体や水に含まれるNa⁺イオンは、石英ガラス中に容易に拡散し、Si–O–Si結合を破壊して非架橋酸素を生じさせます。
  • この構造変化により、ガラスの熱的安定性が低下し、結晶化が促進されます。
  • 特に指紋や未洗浄の手袋、純度の低い洗浄水がNa汚染の原因になります。

• (2) アルカリ金属・重金属（K、Ca、Fe、Alなど）
  • 装置内部の腐食や材料摩耗から金属粒子が脱落し、石英表面に付着することがあります。
  • 金属粒子は高温環境下で拡散・酸化され、微細な結晶核を形成します。

• (3) 有機物・炭素系汚染
  • 洗浄不十分な部材や、室外での取り扱いによって有機汚染が生じます。
  • 高温で分解される際、表面に局所的な還元雰囲気が生まれ、構造変化を誘発します。

不純物の付着経路（半導体・非半導体問わず）

起因源	具体例
作業者由来	指紋、手袋、作業衣からのナトリウム・有機物
洗浄不良	超純水でない水やリンス不足による残留金属
装置・プロセス由来	高温装置中の金属蒸気、摩耗粉、薬品残渣

防止策の例

• クリーンな作業環境と厳格なハンドリング（Naフリー手袋の使用）
• 洗浄工程の見直し（酸洗浄＋超純水リンス）
• 石英表面の定期的なメンテナンス（再研磨・再洗浄）

これらの対策を講じることで、石英ガラス表面に結晶核が形成されるリスクを大幅に低減できます。

２. 石英ガラスの失透を回避（失透を遅らせる）には？

① 加熱条件の最適化

項目	内容
温度管理	結晶化が加速する温度（1100～1300℃）では長時間加熱を避ける。特に1250℃以上での滞留は避ける。
急熱・急冷の回避	熱応力が内部構造を乱し、結晶化のトリガーになる。徐加熱・徐冷却が望ましい。
局所加熱の回避	一部だけに高温が集中するとその部分から失透が始まりやすくなるため、加熱はなるべく均一に。

② 材質と純度の選定

項目	内容
高純度合成石英の使用	天然石英よりも純度が高く、結晶核となる不純物（Al, Na, Kなど）を極限まで排除できる。失透耐性が高い。
不純物管理	加熱前後に異物や汚染物がガラスに接触しないようにする（粉塵や金属コンタミに注意）。

③ 表面状態の管理

項目	内容
表面傷の抑制	傷や打痕は結晶核として作用するため、加工や運搬時の丁寧な取り扱いが必要。
清浄保持	加熱前に必ず表面の汚れ、微粒子、金属粉などを除去。洗浄や超音波洗浄が効果的。

④ 雰囲気制御（加熱環境）

項目	内容
酸化性雰囲気	空気や酸素雰囲気では比較的安定。還元性雰囲気や水素雰囲気は失透を助長する可能性がある。
清浄保持	加熱炉の炉材や治具からの金属蒸気・ガスによるコンタミを避ける（例：アルミナるつぼの使用を避ける）。

３. 失透した石英管の透明感を取り戻す再生技術：「焼き上げ修理」とは？

３－１　石英管の焼き上げ修理とは?

「焼き上げ修理」とは、バーナーによる高温の火炎を用いて、失透した石英管（石英チューブ・炉心管など）の内面および外面を加熱処理し、再び透明性を回復させる再生方法です。この手法は、石英表面に形成された微細な結晶層（失透層）を再びアモルファス状態へと変化させることを目的としています。

３－２　「石英管の焼き上げ修理」の原理とメカニズム

失透した部分には、クリストバライトなどの結晶相が微細に生成されています。この結晶層は、バーナー火炎によって石英の軟化点（約1700℃）付近まで局所加熱されると、再び溶融し、冷却と同時に急冷されることで非晶質構造（アモルファス）へと再構築されます。
つまり、「結晶構造 → 局所加熱による再溶融 → 急冷 → 非晶質構造への復元」という流れで透明性を回復します。

写真２　「焼き上げ修理」をおこない透明になった石英管

３－３　「石英管の焼き上げ修理」の手順（概要）

• 1. 予洗浄：火炎処理前に、酸洗浄や超純水での洗浄を行い、表面の油分・有機物・金属イオンを除去。
• 2. バーナー処理：火炎バーナーを用い、石英管の内側および外側を丁寧に均一加熱（温度管理が重要）。
• 3. 自然冷却 or 制御冷却：高温処理後は、急冷しすぎないように適切な冷却速度で処理。
• 4. 外観・透過検査：白濁が解消し、均一な透明度が得られているかを確認。
• 5. 最終洗浄・梱包：クリーンルームレベルで再度洗浄・乾燥し、異物付着を防いで保管。

３－４　石英管の焼き上げ修理の適用限界と注意点

• 結晶化が深部まで進行した場合：表層の焼き上げでは透明性の完全回復が困難なことも。
• 石英の劣化・クラック：高温加熱により既存のマイクロクラックが広がるリスクあり。
• 寸法変化：再加熱によって微小な形状変化や歪みが生じることもあるため、精密用途では要注意。
• 石英管の径が小さい：概ね内径が100㎜以下ものは、バーナーが管に入らないので焼き上げができません。

写真３　失透した石英炉心管（右）と「焼き上げ修理」後の石英炉心管（左）

３－５　「焼き上げ修理」に向いていない製品

• 板状の製品：板状の製品に火炎加工をおこなうと板が撓ったり、歪んだりしますので「焼き上げ修理」には向いていません
• 精度の厳しい製品や「エッジ」の立っている製品：「焼き上げ」の火炎加工をおこなうと石英ガラスが「ダレ」て（少し溶けだす）しまい精度が損なわれますので、±の精度の厳しい製品や「エッジ」の立っている製品には向いていません。
• 石英管で内径が100ｍｍ程度より小さな製品：内径が小さいと火炎可能の際に使用するバーナーが石英管の内側に入りませんので失透修理をおこなう事ができません。

まとめ — 石英管の焼き上げ修理はコスト削減の力強い選択肢

石英管の失透は、その構造的・光学的劣化にとどまらず、生産性の低下や製品品質への悪影響、さらにはパーティクル発生源となることで、半導体製造現場において深刻なリスクを引き起こします。そのため、これまで失透した石英管は「使い捨て」が前提となっていました。

本記事では、失透の発生メカニズム、不純物の影響、予防方法、さらに焼き上げ修理による再生技術までを網羅的に紹介しました。これらの知識を活かしていただくことで、石英部品のライフサイクル延長・コスト削減・製品品質の安定化につながることを期待しています。

特に石英管（チューブ）については「焼き上げ修理」という技術により、火炎による再加熱・再アモルファス化によって透明性を回復させるこの手法は、性能維持とコスト削減の両立を可能にします。

とりわけ、石英管や炉心管といった高額な部材においては、新品交換の代わりに焼き上げ修理を選ぶことで、最大で数十％のコスト削減を実現することも可能です。また、修理工程においても寸法管理や洗浄処理が行われるため、品質的にも再使用が可能な水準を保てます。

繰り返しの修理には限界や注意点もありますが、石英部材を「再生可能な資産」として運用することで、コストだけでなく環境負荷の低減にも寄与します。

今後、石英ガラスの再生は「特別な対処」ではなく、「標準的な保守戦略」の一つとして、より多くの業界で定着していくことが期待されます。

石英ガラスの再生についてご質問などがございましたらこちらからお寄せください。

欠けやクラックの程度によりますが修理可能です。

見積を含めて現品を見させて頂き判断させて頂きます。

写真でも判断できる場合もございますので、スマホでの撮影で結構ですのでお送り下さい。

場合によっては新品購入の金額の方が安い場合もございますので、先ずはご相談下さい。

失透は単に表面に付着物が付いている状態ではなく、石英硝子の準安定的な状態から安定な結晶状態のクリストバライトに変化した状態を言います。

これは高温で長時間使用した場合や表面に不純物が付着した状態で加熱をしたりすると起こります。

一般的に失透は通常1,200度以上に昇温すると始まる言われますが、低温でも表面に不純物が付着している状態ですと失透が起こります。

管製品などの失透を修理するには通常火炎加工（焼き上げ加工）を行うことで透明な状態にすることもできます。

窓のような物は単に付着物が付いてしまっていることが多く、その場合は表面を研磨することで透明状態にすることもできます。

失透してしまった石英管も再び透明な状態に戻す（再生）ことができます。石英製品を捨ててしまう前に、ぜひ１度ご相談ください。

不透明石英（Opaque Quartz）のメリットとデメリットについて簡単にまとめてみました。

メリット
• 耐久性　高い硬度を持ち、スクラッチや摩耗に強いため、長持ちします。
• コスト　透明石英に比べて一般的にコストが低く、手軽に手に入れることができます。
• 安定性　化学的に安定しています。

デメリット
• 透過性の欠如　透明石英と比べると一般的には純度が低く、半導体製造用の部品などには使用できない場合がある。ランプなどの光学系のものには使えない。
• 高硬度　形状により加工が難しい場合がある

 

どのような改造をお考えでしょうか？

具体的な内容をお教え頂ければ可能なご提案ができかもしれません。

実際に改造した実績はございます。例えば円柱の容器に足を取り付けて高さを高くしたり、板状のものに切かけを入れたりすることも可能です。

図面がございましたら図面にて指示をして頂くか、現品がございましたらこちらから写真が現品を送付頂ければ改造が可能か判断させて頂きます。

 

加工用途に合わせた工場をご紹介できます。

工場見学も実施しております。

弊社から用途に合わせた工場に見学を依頼し、許可を頂いて弊社社員がご案内します。

製品内容等によっては、工場見学を制限している企業もあります。その場合は何卒ご了承ください。

具体的な製品仕様や用途が既に決まっておられる場合は、「工場見学希望」と記載の上、

詳細をこちらからお問い合わせください。

作成可能です。

半導体業界においても多くの実績がございます。

またアルミナ製の静電チャックも扱っていますので、合わせてぜひご検討ください。

正式な図面が無くても対応は可能です。

現品があれば現品をお送り下さい。

現品がなければ大体の寸法が分かる簡単なポンチ絵を書いて頂くか、大きさの分かる写真をお送り頂ければ製作出来るかの判断は出来ます。

細かな寸法精度を希望される場合はご相談させて頂きます。

石英管の寸法は「内径」「外径」「肉厚」「長さ」によって示されます。

先ずはご希望の寸法をお示し下さい。該当する石英管があるかどうかお調べします。

無い場合は近似値の石英管をご紹介致します。

内外径の精度（公差）は太さによって異なりますが±2～±15％程です。

 

石英ガラスは耐熱性が高く、急熱急冷にも耐えますが、アニール点は1190℃、ひずみ点は1090℃（透明石英）となり、これ以上の温度で使用した後に急冷しますと、再びひずみを入れる事になりますのでご注意下さい。また、厚いものは薄いものに比べ割れやすくなります。

石英ガラスは耐熱性が高く、急熱急冷にも耐えますが、アニール点は1190℃、ひずみ点は1090℃（透明石英）となり、これ以上の温度で使用した後に急冷しますと、再びひずみを入れる事になりますのでご注意下さい。また、厚いものは薄いものに比べ割れやすくなります。

石英ガラスは耐熱性が高く、急熱急冷にも耐えますが、アニール点は1190℃、ひずみ点は1090℃（透明石英）となり、これ以上の温度で使用した後に急冷しますと、再びひずみを入れる事になりますのでご注意下さい。また、厚いものは薄いものに比べ割れやすくなります。

表面の刻印は可能です。

現在はレーザー刻印になります。

0.5mm以上の石英板であれば問題がございません。

ネジ切り加工は可能です。

インチ規格とメートル規格は両方対応可能です。

最小対応可能サイズはM４ねじとM4ナット、5/32インチより大きいねじとナット。

基本的に平行ねじになります。

テーパー（PT,PS）ねじは密封性を要求してた配管用の規格のため、石英材質に対して該当ニーズは現在のところはありません。

加工後、フッ酸及び純水洗浄にて表面に付着したコンタミを除去します。

フッ酸の濃度は純水で調整して洗浄します。洗浄時間も濃度に合わせて調整します

加工の形状が複雑だったり、付着物が落ちない要であれば超音波洗浄機を使用する場合もあります。

超音波洗浄機を使用する方がコストは割高になります。

機械加工は残留内部歪がありません。

火加工の後に残留内部歪（内部応力）は発生します。

これらの内部歪を除去するためにアニール処理が必要になりますが、処理完了加工品は歪検査機で内部応力を検査します。

弊社はこの歪検査機も取り扱っております。

酸水素溶融品と電気溶融品は主に石英チューブと石英板などの成形品の成形方法を指しています。

酸水素溶融品は水素ガスで加熱砂を溶かして成形した石英成形品を指します。

これに対し、電気溶融品は電気炉の抵抗ヒーターで加熱溶かして成形した石英成形品のことです。

大きな違いはありませんが、半導体分野で微妙な違いで用途が分けられています。

酸水素溶融品はOH基（水分）の量が多く、酸化膜工程などに使われています。

これは、酸水素溶融品の成形方法により気泡が少ない、工程にもたらす不純物も少ないと考えられているからです。

素材別の成分比較・仕様一覧はこちらからご覧いただけます。

「失透」とはガラスの結晶の状態が準安定な状態（非結晶）から安定的な状態（結晶）に変化することでおこります。

一般的には1,150℃以上で使用していると失透がおこるとされ、1,200℃を越え高温になればなるほど失透が促進されます。

1,000℃以下の低温でも失透がおこることがあります。これはガラスに不純物、特にNa、Ca、Kなどのアルカリ系のもが付着していると低温でも失透現象がおこります。

失透した石英管は再び透明な状態に戻すこともできますので是非お問合せ下さい。

透明石英（Transparent Quartz）と異なり光を通さない（通しづらい）特徴を持つのが不透明石英（Opaque Quartz）です。

1. 透明度
• 不透明石英　光を透過しません。そのため、内部を見ることができません。
• 透明石英　光を透過し、内部の構造が見えることがあります。クリアな色合いを持つことが多いです。

2. 結晶構造
• 不透明石英　クリスタル構造はありますが、内部の不純物や構造上の欠陥により不透明になります。
• 透明石英　高純度で、内部の不純物が少ないため、透明度が高くなります。

3. 用途
• 不透明石英　遮光を必要とする環境で使用さされる熱プロセス装置やランプの部品、耐熱性と電気絶縁性があるヒーター部品や絶縁体など。
• 透明石英　半導体製造用のプロセス部材、各種ランプ用材料、光学部品、理化学用機器など

 

材料証明の発行は可能です。

出来れば見積時など、事前にご用命下さい。

通常であれば納品時に提出できますが、製品により発行に時間がかかる（1ヶ月程度）場合もございます。

書面での発行になります。

正式な発行依頼書があり、内容を埋めていただいてから、該当品と判断しない場合は１週間程度で発行可能です。

紙とPDＦの形はどちらでも発行可能です。

石英ガラスは耐熱性が高く、急熱急冷にも耐えますが、アニール点は1190℃、ひずみ点は1090℃（透明石英）となり、これ以上の温度で使用した後に急冷しますと、再びひずみを入れる事になりますのでご注意下さい。また、厚いものは薄いものに比べ割れやすくなります。