技術コラム

石英ガラスの種類と特長

石英ガラスの種類 一般的に「石英ガラス」と言うと天然の石英ガラスの事を言います。また、溶融石英ガラスと言うものも天然の石英ガラスの事を指すことが多いです。 天然（溶融）石英と合成石英の違いは、天然の石...

石英ガラスの失透とは？ 製造現場における原因・対策・再生技術について教えてください。

高温プロセスや化学的環境に長期間さらされることで、透明だった石英ガラスが白濁する「失透（devitrification）」という現象が発生します。 石英ガラス（溶融石英）はその高純度・耐熱性・化学的安...

半導体製造における石英ガラスのコスト削減術 – 設計と加工の最適化で実現！

１．はじめに 半導体製造では、プロセスごとに厳格な環境管理が求められ、その中で石英ガラス製品は欠かせない役割を果たしています。ウェーハの処理、拡散、エッチング、洗浄など、各工程で使用される石英製品は、...

ドライエッチング工程における「石英チャンバー」の歩留まりへの影響と 「石英加工」についての考察

１．はじめに 「石英加工.com」をご覧いただいている皆様へ 半導体製造工程におけるドライエッチング工程（プラズマエッチング装置）に使用される「石英チャンバー」は半導体製造には欠かせないパーツです。 ...