石英槽（角槽）クォーツバス オーバーフロー槽
半導体デバイス製造工程で使われる「石英槽（角槽）」は主に「ウエハーの洗浄工程」で使われます。
薬液が汚染されることなくクリーンな状態でお使い頂けるよう高純度な石英硝子を使用し、4インチ等の小径のウエハーで使用する槽はもちろん、８インチや12インチ用の大口径ウエハー用の大型の槽まで製作でき、合成石英（※材料の合成石英参照）での製作も可能です。
また、薬液を加熱するための石英ヒーターやキャリアの乗せる台などの槽の中で使用する石英製の治工具の製作も賜っております。