大型加工品/微細加工品

●石英管（チューブ）

• 一番大きなチューブ径　 φ1000 mm
• 一番厚い肉厚　　　　　8t
• 一番長いチューブ　6000L（繋ぎあり）※約φ400×6000L
  ※外径のサイズにより肉厚、長さは変わります。

●板 ムク棒

• 一番大きな板　　　　1200mm×1200mm
  720mm×620ｍｍ×1t（ホウケイ酸ガラス）
  1500ｍｍ×40ｍｍ×1t（ホウケイ酸ガラス）
  φ1500ｍｍ×5t（ホウケイ酸ガラス）
• 一番厚い板（肉厚）　　　φ1800×H350（加工前インゴット）
• 一番太いムク棒（ロット）　　φ150

●加工製品

• 一番大きな石英槽　W1000mm×D1000mm×H1000mm　　　　　　　　　　
• 一番大きなボート（径、長さ、溝数）　φ450ウエハー用
• 一番大きなベルジャー、チャンバー　 φ1200×H1400

• 一番小さい（細い）チューブ 外径φ1.6mm
• 一番小さい板 １mm
• 一番薄い板　 □（かく）50mm→0.1mm　径φ100→0.1mm
• 一番小さい穴径　φ0.1mm