石英ターゲット板
石英ターゲット板はスパッタリング工程使われる石英硝子の板です。真空チャンバー内でウエハーに成膜する際に使われます。
板の寸法、石英の材質などご指定いただければお見積りができます。
ダミーウエハー（石英ウエハー）
石英のダミーウエハーは本来のシリコンなどのウエハーの代わりとしてダミーとして使用するものです。
石英ウエハーのサイズ（径、厚み）、表面の状態、オリフラやノッチの有無、石英の材質などをご指定いただければお見積りができます。
石英断熱版ホルダー
石英断熱ホルダーは半導体デバイス製造工程の熱処理炉（拡散炉、CVD炉）で使われます。
断熱ホルダー以外にも拡散炉やCVD炉では石英硝子を使った様々な製品が使われていますので、それぞれの図面をいただければお見積りができます。
石英ガス拡散板
石英ガス拡散板は石英板に幾つもの穴をあけたものです。この板の状態で使用することもありますが、石炉心管の内部にこの板を溶接し、そこへガスを流してガスの流れを調整したりします。
研究開発でお使いいただく事が多いです。穴の位置、大きさ、数など条件を変えてガスの流れを調整します。図面をいただければお見積りができます。
石英バーナー
石英バーナーは半導体デバイス製造の工程で直接使われるものではなく、半導体デバイス製造工程で使われる石英製品の火炎加工の際に、金属などのバーナーによる不純物の混入を防ぐために石英製のバーナーを使い不純物の混入のリスクを低減させます。
フォーカスリング
石英フォーカスリングは半導体デバイス製造工程のドライエッチング装置に用いられるプラズマエッチングに使われます。
プラズマエッチング装置では、ウエハーの面内でばらつかないようにするため、ウエハー上に供給されるプラズマを均一にする必要があり、このためウエハーの周囲に石英のフォーカスリングが使われます。
近年はシリコン製のフォーカスリングが使われることも多く、弊社ではシリコンフォーカスリングの製作も賜っています。
石英ヒーター
石英を使ったヒーターは半導体デバイスで製造工程の「洗浄工程」で使われる石英ヒーターです。これは洗浄工程使われる薬液を加熱するために使われます。
石英管の中にヒーター線が入っており、直接ヒーター線が薬液に接触することなく薬液を加熱することができますので、薬液が汚染される心配がありません。