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火加工(溶融接合・成形)

flame-processing

火加工とは、高温の火を用いて石英ガラスを局所的に溶かし、接合や変形を行う加工技術です。当社では、依頼内容に応じて大型旋盤や高出力バーナーなどで加工します。職人が手作業で加工を行うので、気泡や不純物の混入を抑えた高精度な加工サービスを提供します。

当社が提供する火加工サービス

01.接合・溶着

接合・溶着は、石英ガラスを局所的に溶融させ、石英同士を一体化させる加工です。接着剤や異物を使用しないため、半導体製造装置や理化学用途で求められる高純度・耐熱性を損なうことなく、強度と気密性を確保した接合が可能です。

石英管同士の接続

フランジの取り付け

枝管の取り付け

旋盤加工

02.成形・加工

成形・加工は、石英ガラスを局所的に加熱・軟化させ、形状や開口部を成形する加工です。旋盤加工と手加工を組み合わせることで、管の先端を閉じる丸封じや口径を広げる口開きなど、切削加工では困難な形状に加工できます。

丸封じ加工

口開き

曲げ加工

複雑な角度で立体的に折り曲げられた高精度な石英ガラス配管パーツ
曲げ加工

03.表面処理

表面処理は、火炎を用いて表面状態を整え、石英ガラス本来の透明性を回復させる加工です。職人が石英の状態を見極めながら加工しており、火炎研磨では切削跡の除去、焼きなましでは内部の歪みを低減できます。

ファイヤーポリッシング
(火炎研磨)

アニール処理
(焼きなまし)

旋盤で回転させた石英ガラスへのファイヤーポリッシング(火炎研磨)加工による表面の平滑化
ファイヤーポリッシング

実績・事例

顧客の要望に合わせて設計・製作された特注の大型透明アクリル(またはガラス)製水槽ユニット

枝管の取り付け

装置構成の変更やガス配管の分岐などにより、枝管の追加が必要となるケースがあります。当社では、溶融接合による枝管取り付けに対応しており、装置用途に合わせた位置・角度での加工が可能です。

石英ガラス管を精密に巻き上げた、熱交換や冷却に用いられる螺旋状(スパイラル)加工部品

螺旋加工

螺旋形状が必要なケースでは、職人が手作業で曲率やピッチを均一に保ちながら成形していきます。業界によって異なる特殊形状の石英製品についても、仕様に合わせて歪みや肉厚変化を抑えた加工を行います。

半導体プロセスや真空装置に使用される、大型で気密性の高い石英ガラス製チャンバー筐体

石英チャンバー(ベルジャー)

石英チャンバーは使用環境によって表面が失透します。当社では、ファイヤーポリッシングとフッ酸洗浄を組み合わせ、再生加工をします。透明性が回復することで、装置状態の安定化やプロセス歩留まりの改善に寄与します。

当社が選ばれる理由

高精度な加工技術

半導体・光学・理化学用途で使用される石英製品は、装置への組み込みを前提とした精度と安定性が求められます。当社では、用途を理解した職人が、旋盤加工と手加工を組み合わせることで、同軸度や形状精度を確保した加工を行っています。

全国に広がるネットワーク

当社は、全国の石英加工パートナーと連携し、装置用途・研究用途などの多様なニーズに対応しています。加工内容に応じて最適な技術を持つ工場と協力することで、地域や拠点を問わず、安定した品質での対応が可能です。

対応スペック(作製範囲)

素材石英ガラス、その他材料(要相談)
状態新品部品・使用済み部品 対応可
ロット単品 対応可
形状石英管・曲げ管・分岐管など 対応可
※複雑な構造についても個別に検討いたします。
サイズ
(厚み・外径・長さ)
加工の対応可否は厚み・外径・長さによって異なります。
対応が可能かどうかはお問い合わせよりご連絡ください。
図面の有無図面無し・現物支給や写真での相談も可能

上記対応スペックに該当しない場合も加工内容によって対応できる場合があります。
石英ガラスに関するご相談や納期に関するお問い合わせやお見積りは
お問い合わせフォームよりご連絡ください。