弊社で扱う合成石英材料の基本データです。
※ A~Vはそれぞれの材質名の型式表記です。数値は化学分析の代表値で保証値ではありません。
| 製造方法 |
Electrically Fused |
Flame Fused |
| 材質名 |
合成石英材A |
合成石英材B |
合成石英材C |
合成石英材D |
合成石英材E |
合成石英材F |
| 形状 |
Tube |
Ingot |
Tube Rod Plate |
Tube Rod Plate |
Tube Rod Plate |
Tube Rod |
| 不純物データ (ppm by weight) |
Al |
0.2 |
0.2 |
＜0,01 |
＜0,01 |
＜0,01 |
0.1 |
| Ca |
＜0,05 |
＜0,05 |
＜0,01 |
＜0,01 |
＜0,01 |
－ |
| Cu |
＜0,05 |
＜0,05 |
＜0,01 |
＜0,01 |
＜0,01 |
＜0.01 |
| Fe |
0.07 |
0.07 |
＜0,01 |
＜0,01 |
＜0,01 |
0.1 |
| Li |
＜0,05 |
＜0,05 |
＜0,01 |
＜0,01 |
＜0,01 |
－ |
| Mg |
0.05 |
0.05 |
＜0,01 |
＜0,01 |
＜0,01 |
－ |
| Mn |
＜0,02 |
＜0,02 |
－ |
－ |
－ |
－ |
| K |
0.1 |
0.1 |
＜0,01 |
＜0,01 |
＜0,01 |
0.05 |
| Na |
0.1 |
0.1 |
＜0,01 |
＜0,01 |
＜0,01 |
0.05 |
| Ti |
＜0,02 |
＜0,02 |
－ |
－ |
－ |
－ |
| Zr |
＜0,02 |
＜0,02 |
－ |
－ |
－ |
－ |
| OH Content |
＜10 |
＜10 |
250 |
250 |
250 |
800 |
| Softing Point |
1,683℃ |
1,683℃ |
1,600℃ |
－ |
－ |
－ |
| Annealing Point |
1,215℃ |
1,215℃ |
1,120℃ |
－ |
－ |
－ |
| Strain Point |
1,120℃ |
1,120℃ |
1,025℃ |
－ |
－ |
－ |
| 製造方法 |
Flame Fused |
Synthetic Flame Hydrolysis |
VAD Process |
| 材質名 |
合成石英材G |
合成石英材H |
合成石英材I |
合成石英材J |
合成石英材K |
合成石英材L |
| 形状 |
Tube Rod |
Tube Rod Ingot |
Tube Rod Ingot |
Tube Rod |
Tube Rod Ingot |
Tube Rod Ingot |
| 不純物データ (ppm by weight) |
Al |
0.03 |
＜0.02 |
0.1 |
＜0.04 |
＜0.01 |
＜0.01 |
| Ca |
－ |
＜0.01 |
0.1 |
＜0.04 |
＜0.01 |
＜0.01 |
| Cu |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.01 |
0.03 |
＜0.01 |
＜0.01 |
| Fe |
0.02 |
＜0.01 |
0.05 |
＜0.05 |
＜0.01 |
＜0.01 |
| Li |
－ |
＜0.01 |
0.05 |
0.03 |
＜0.01 |
＜0.01 |
| Mg |
－ |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.003 |
＜0.01 |
＜0.01 |
| Mn |
－ |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.005 |
＜0.01 |
＜0.01 |
| K |
0.03 |
＜0.01 |
0.05 |
0.02 |
＜0.01 |
＜0.01 |
| Na |
0.05 |
＜0.01 |
0.05 |
0.02 |
＜0.01 |
＜0.01 |
| Ti |
－ |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.01 |
＜0.01 |
＜0.01 |
| Zr |
－ |
＜0.01 |
－ |
0.02 |
－ |
－ |
| OH Content |
800 |
1,000 |
1,000 |
＜200 |
100 |
＜10 |
| Softing Point |
－ |
1,710℃ |
－ |
1,700℃ |
－ |
－ |
| Annealing Point |
－ |
1,100℃ |
1,080℃ |
1,160℃ |
－ |
－ |
| Strain Point |
－ |
990℃ |
970℃ |
1,060℃ |
－ |
－ |
| 製造方法 |
VAD Process |
VAD Process Anhydrous |
| 材質名 |
合成石英材M |
合成石英材N |
合成石英材O |
合成石英材P |
| 形状 |
Tube Rod Ingot |
Tube Rod Ingot |
Tube Rod |
Tube Rod |
| 不純物データ (ppm by weight) |
Al |
＜0.01 |
＜0.01 |
＜0.04 |
＜0.04 |
| Ca |
＜0.01 |
＜0.01 |
＜0.04 |
＜0.04 |
| Cu |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.03 |
0.03 |
| Fe |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.02 |
0.02 |
| Li |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.02 |
0.02 |
| Mg |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.003 |
0.003 |
| Mn |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.005 |
0.005 |
| K |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.02 |
0.02 |
| Na |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.02 |
0.02 |
| Ti |
＜0.01 |
＜0.01 |
0.01 |
0.01 |
| Zr |
－ |
－ |
0.02 |
0.02 |
| OH Content |
＜1 |
50 |
＜1 |
＜5 |
| Softing Point |
－ |
－ |
1,700℃ |
1,700℃ |
| Annealing Point |
－ |
－ |
1,160℃ |
1,160℃ |
| Strain Point |
－ |
－ |
1,060℃ |
1,060℃ |
