よくあるご質問

改造内容によっては、現在お使いの石英ガラス部品をベースにした改造加工が可能です。
まずは、どのような改造をご希望かをお聞かせください。

改造の可否は、部品の形状・肉厚・使用履歴・改造内容などを確認したうえで判断します。
これまでの実績として、以下のような改造加工に対応しています。

• 円柱形の石英容器に脚部を追加し、高さを変更
• 板状の石英部品への切り欠き加工
• 開口部形状の変更や部分加工　など

ご相談の際は、図面がある場合は図面をご提出いただくか、図面がない場合でも、現品写真（スマートフォン撮影で可）をお送りいただければ、改造が可能かどうかを確認いたします。

一般的な透明石英ガラスの耐熱温度は常用約1,000℃、最高約1,200℃です。非常に優れた耐熱性を持ちますが、急熱急冷（熱衝撃）への耐性は材質や肉厚によって大きく左右されます。

当社では熱衝撃強度を考慮した肉厚設計・加工が可能です。

用途（半導体炉・理化学実験・ランプ等）に応じて、材料特性を考慮し、最適な仕様をアドバイスいたします。

当社では、熟練の職人によるバーナー火炎加工（溶接）を用いた石英ガラスの接合加工が可能です。単なる接着とは異なり、材料同士を溶融・一体化させる高度な技術を提供します。

• 高強度な接合：適切な火炎温度管理により、母材と同等の機械的強度を実現
• 高度な形状対応：球体とフランジ、管と板状物など、異形状同士の強固な接合
• 優れた気密性：真空装置や理化学機器に不可欠な、リークのない高気密接合

石英ガラスは、一般的なガラスと比べて非常に高い耐熱性を持ち、急熱・急冷にも強い材料です。
透明石英ガラスの場合、代表的な温度の目安は以下の通りです。

• アニール点：約1,190℃
• ひずみ点：約1,090℃

これらの温度を超える高温で使用した後に急冷すると、内部に再びひずみ（内部応力）が発生し、割れやクラックの原因となる可能性があります。

また、石英ガラスは肉厚が厚いほど、温度差による応力が大きくなり、割れやすくなる傾向があります。
使用温度だけでなく、形状や厚みも考慮した設計が重要です。

耐熱性能を最大限に活かすためには、使用温度・昇温速度・冷却条件を踏まえた運用が推奨されます。

見積の際に下記をいただくとスムーズです。

• 寸法／厚み、口径、長さ　など
• 寸法精度
• 図面 or 写真　or イラスト
• 数量（1個〜量産まで対応）
• 希望納期

曖昧な情報でも大丈夫です。「とりあえず相談」からでも対応します。

まずは現在分かっている範囲で、お気軽にご相談ください。

半導体製造装置向けの石英ガラス部品では、用途や要求品質に応じた複数工程の洗浄プロセスが採用されます。
一般的には、以下のような工程を組み合わせて洗浄を行います。

• 脱脂洗浄
  部品表面に付着した油分・有機物を除去し、清浄度を確保します。
• フッ酸洗浄
  純水で希釈したフッ酸を用いて表面をエッチングし、微細な汚れや変質層を除去します。
  濃度や洗浄時間は、汚れの状態や用途に応じて調整されます。
• 純水洗浄
  フッ酸洗浄後の残留成分を除去し、表面パーティクル（微粒子）を低減します。
• 乾燥工程
  洗浄後の再付着を防ぐため、管理された条件下で乾燥を行います。

半導体向け石英部品の洗浄基準は、

• 脱脂洗浄：表面有機物の付着量
• フッ酸洗浄：エッチング量（除去量）
• 純水洗浄：表面パーティクル量

といった項目ごとに細かく設定されるケースが一般的です。
なお、これらの洗浄条件や合格基準については業界共通の統一規格は存在せず、ユーザー様ごと・装置メーカー様ごとに個別に規定されており、通常は非公開となっています。
当社では、お客様から指定された洗浄条件・社内基準・工場ルールに基づき、各工場で定められた洗浄プロセスに従って対応しています。

石英ガラス加工における寸法精度は、加工方法によって目安となる精度帯が異なります。
一般的な参考値としては、以下のような違いがあります。

• レーザー加工
  微細加工に適しており、概ね 2〜3µm以上 の精度が目安となります。
• マシニング加工（切削加工）
  形状自由度が高く、安定した加工が可能で、概ね 10µm以上 の精度が目安です。

ただし、これらはあくまで一般論であり、実際の寸法精度は形状・サイズ・板厚・加工内容・後工程（研磨の有無）によって大きく変わります。

例えば、研磨工程を組み合わせることで、レーザー加工・マシニング加工いずれの場合でも、より高い寸法精度や表面品質を実現することが可能です。
石英ガラス加工における研磨加工の一例は、動画でもご確認いただけます。

加工内容や用途に応じて、最適な石英加工工場をご紹介し、工場見学の対応が可能です。
工場見学をご希望の場合は、弊社から用途・製品内容に合った工場へ見学の可否を確認し、許可をいただいたうえで、弊社社員が同行・ご案内いたします。

※取り扱い製品や工程内容、機密保持の観点から、工場見学を制限している企業・工程もございます。その場合は、誠に恐れ入りますがご了承ください。

すでに具体的な製品仕様や用途が決まっている場合は、事前に共有いただくことで、より適切な工場をご案内できます。

石英ガラスへの表面印字（刻印）は可能です。
現在は、レーザー刻印による対応を行っています。

レーザー刻印には、以下のような特長があります。

• 文字・番号・記号などの識別表示が可能
• インクや塗料を使用しないため、剥がれやコンタミの心配が少ない
• 半導体・理化学用途にも適した方式

刻印に対応できる石英板の厚みについては、板厚0.5mm以上であれば、基本的に問題なく対応可能です。
刻印内容（文字サイズ・深さ・位置）によっては、最適な条件をご相談させていただく場合があります。

石英ガラスへのねじ切り加工は可能です。
インチ規格・メートル規格の両方に対応しています。

対応可能なねじ規格・サイズの目安は以下の通りです。

• 対応規格
  • メートルねじ（ミリねじ）
  • インチねじ
• 最小対応サイズ
  • メートルねじ：M4ねじ／M4ナット以上
  • インチねじ：5/32インチ以上

なお、石英ガラスのねじ加工は、基本的に平行ねじ（ストレートねじ）での対応となります。
テーパーねじ（PT・PSなど）は、配管用途などで密封性を確保するための規格ですが、石英ガラスの材質特性や使用用途を踏まえると、現時点では該当するニーズはほとんどありません。

ねじの用途や締結方法によっては、割れ防止を考慮した設計や加工条件の調整が必要になる場合もあります。

石英材料をダイヤモンド工具で加工した後は、工具由来の金属コンタミネーション（微量金属付着）を除去するための洗浄工程を行います。
一般的には、以下の方法で対応します。

• フッ酸洗浄
  • 純水で希釈したフッ酸を使用し、表面に付着した金属成分や加工由来の汚れを除去します。
  • フッ酸の濃度や洗浄時間は、汚れの程度や製品形状に応じて適切に調整します。
• 純水洗浄
  • フッ酸洗浄後に純水洗浄を行い、残留成分を除去し、清浄な表面状態に仕上げます。

加工形状が複雑な場合や、通常の洗浄で付着物が除去しきれない場合には、超音波洗浄機を併用するケースもあります。

※超音波洗浄は洗浄効果が高い反面、工程が増えるためコストは割高になる点をご理解ください。

石英ガラス加工における残留内部歪（内部応力）の有無は、加工方法によって異なります。

• 機械加工（切削・研磨など）
  • 基本的に、機械加工のみの場合は残留内部歪はほとんど発生しません。
• 火炎加工（溶着・曲げなど）
  • 局所的に高温加熱を行うため、加工後に残留内部歪（内部応力）が発生します。

火炎加工後に発生した内部歪をそのまま放置すると、使用中の割れやクラックの原因となるため、アニール処理（応力除去焼鈍）を行い、内部応力を除去します。

アニール処理後の加工品については、歪検査機を使用して内部応力の有無を検査し、品質を確認したうえで出荷しています。
なお、当社では歪検査機の取り扱い・評価対応も行っており、内部歪管理まで含めた品質対応が可能です。

石英ガラスの価格は、主に以下の要素により大きく変動いたします。

• 素材選択：透明／不透明／合成／天然の選定
• 加工内容：切削・研磨・接合・曲げ加工等の工数
• 寸法精度：要求される公差の厳密さ
• ロット数：試作から量産までの数量規模

特に形状が複雑な部品は、図面の寸法精度も重要になります。簡単な図面や現物の写真を添付いただけますと、より精度の高い（正確な）お見積りが可能です。

💡 価格を安く抑えるためのポイントをブログ記事で解説しています

加工内容・サイズ、工場の負荷状況、材料の在庫の有無等により異なりますが、納期の目安は以下の通りです。

• 簡易加工：2〜5営業日
• 一般的な特注加工：1〜2週間
• 複雑形状・接合加工：2〜4週間

※あくまでも納期の目安です。工場の負荷状況により納期は大きく変化しますので都度お問い合わせください。

お客様が図面をお持ちでなくても、現物・写真・スケッチから製作可能です。
石英加工は寸法精度が重要ですが、入江（株）では可能な限り現物測定を行い、図面化から製作まで一貫対応を目指しています。

• 破損した部品
• 現場で使用中の治具
• 古い設備の交換パーツなど、現物だけでも対応できます。