よくあるご質問

もちろん、1個から制作可能です。
試作から量産までを見据えた一貫対応を行っており、仕様が完全に固まっていない構想段階からのご相談も承っております。

• 小ロット試作：新規開発に伴う1個からのスピード製作
• 研究・開発用途：実験条件に合わせた特殊形状や追加工
• 保全・交換パーツ：古い設備で予備がない部品の1個単位の複製

当社では、熟練の職人によるバーナー火炎加工（溶接）を用いた石英ガラスの接合加工が可能です。単なる接着とは異なり、材料同士を溶融・一体化させる高度な技術を提供します。

• 高強度な接合：適切な火炎温度管理により、母材と同等の機械的強度を実現
• 高度な形状対応：球体とフランジ、管と板状物など、異形状同士の強固な接合
• 優れた気密性：真空装置や理化学機器に不可欠な、リークのない高気密接合

半導体製造装置向けの石英ガラス部品では、用途や要求品質に応じた複数工程の洗浄プロセスが採用されます。
一般的には、以下のような工程を組み合わせて洗浄を行います。

• 脱脂洗浄
  部品表面に付着した油分・有機物を除去し、清浄度を確保します。
• フッ酸洗浄
  純水で希釈したフッ酸を用いて表面をエッチングし、微細な汚れや変質層を除去します。
  濃度や洗浄時間は、汚れの状態や用途に応じて調整されます。
• 純水洗浄
  フッ酸洗浄後の残留成分を除去し、表面パーティクル（微粒子）を低減します。
• 乾燥工程
  洗浄後の再付着を防ぐため、管理された条件下で乾燥を行います。

半導体向け石英部品の洗浄基準は、

• 脱脂洗浄：表面有機物の付着量
• フッ酸洗浄：エッチング量（除去量）
• 純水洗浄：表面パーティクル量

といった項目ごとに細かく設定されるケースが一般的です。
なお、これらの洗浄条件や合格基準については業界共通の統一規格は存在せず、ユーザー様ごと・装置メーカー様ごとに個別に規定されており、通常は非公開となっています。
当社では、お客様から指定された洗浄条件・社内基準・工場ルールに基づき、各工場で定められた洗浄プロセスに従って対応しています。

石英ガラス加工における寸法精度は、加工方法によって目安となる精度帯が異なります。
一般的な参考値としては、以下のような違いがあります。

• レーザー加工
  微細加工に適しており、概ね 2〜3µm以上 の精度が目安となります。
• マシニング加工（切削加工）
  形状自由度が高く、安定した加工が可能で、概ね 10µm以上 の精度が目安です。

ただし、これらはあくまで一般論であり、実際の寸法精度は形状・サイズ・板厚・加工内容・後工程（研磨の有無）によって大きく変わります。

例えば、研磨工程を組み合わせることで、レーザー加工・マシニング加工いずれの場合でも、より高い寸法精度や表面品質を実現することが可能です。
石英ガラス加工における研磨加工の一例は、動画でもご確認いただけます。

正式な図面がなくても、石英ガラスの特注製作は可能です。
現品をお持ちの場合は、現品をお送りいただければ、寸法測定から図面化し製作まで一貫して対応します。

また、現品がない場合でも、以下の情報をご提供いただければ、製作可否の判断や概算のご提案が可能です。

• 大まかな寸法が分かる簡単なスケッチ（ポンチ絵）
• サイズ感が分かる写真（定規などを写し込んだもの）

なお、厳しい寸法精度が求められる場合は、用途や要求精度を確認したうえで、製作方法や許容公差について事前にご相談させていただきます。

石英管の寸法は、主に以下の項目で規定されます。

• 内径
• 外径
• 肉厚
• 長さ

まずは、ご希望の寸法条件をお知らせください。既製サイズの石英管で対応可能かどうかを確認いたします。

該当するサイズがない場合でも、近似寸法の石英管のご提案や、用途に応じた加工対応が可能です。

なお、石英管の内径・外径の寸法精度（公差）は、管径（太さ）や製造方法によって異なりますが、一般的な目安として ±2〜±15％程度 となります。

より厳しい寸法精度が必要な場合は、追加加工（研磨・切削）などによって対応できるケースもありますので、用途や要求精度を含めてご相談ください。

石英ガラスへのねじ切り加工は可能です。
インチ規格・メートル規格の両方に対応しています。

対応可能なねじ規格・サイズの目安は以下の通りです。

• 対応規格
  • メートルねじ（ミリねじ）
  • インチねじ
• 最小対応サイズ
  • メートルねじ：M4ねじ／M4ナット以上
  • インチねじ：5/32インチ以上

なお、石英ガラスのねじ加工は、基本的に平行ねじ（ストレートねじ）での対応となります。
テーパーねじ（PT・PSなど）は、配管用途などで密封性を確保するための規格ですが、石英ガラスの材質特性や使用用途を踏まえると、現時点では該当するニーズはほとんどありません。

ねじの用途や締結方法によっては、割れ防止を考慮した設計や加工条件の調整が必要になる場合もあります。