よくあるご質問

酸水素溶融品と電気溶融品は主に石英チューブと石英板などの成形品の成形方法を指しています。

酸水素溶融品は水素ガスで加熱砂を溶かして成形した石英成形品を指します。

これに対し、電気溶融品は電気炉の抵抗ヒーターで加熱溶かして成形した石英成形品のことです。

大きな違いはありませんが、半導体分野で微妙な違いで用途が分けられています。

酸水素溶融品はOH基（水分）の量が多く、酸化膜工程などに使われています。

これは、酸水素溶融品の成形方法により気泡が少ない、工程にもたらす不純物も少ないと考えられているからです。