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火炎加工

flame-processing

石英加工には大きく分けて、

  • 火を使って形を作っていく加工 火加工(火炎加工)
  • 削ったり、切ったり、穴をあけたりして形を作っていく 切削・切断・研磨加工

とに分けることができます。

ここでは、火加工(火炎加工)について解説します。様々な加工技術や機械を組み合わせて、お客様の要求する製品を作り上げていきます。

旋盤加工

石英ガラスの加工における旋盤加工は、石英管(チューブ)を旋盤に取り付けて、回転させながら多くのバーナーから放射される火炎で径を修正したり、管(チューブ)の片側を丸や平らに封じたり、他の石英部品と溶接する際に使われます。
半導体製造工程の拡散炉やCVD炉で使われる「炉心管」やエッチャー工程で使われる「チャンバー(ベルジャー)」等はこの旋盤加工を経て製品になります。
石英ガラスを火加工する時の温度は1,700℃~1800℃の高温でおこなれます。

旋盤を使った火炎加工

旋盤加工の様子

旋盤加工のバーナーより放射される火炎の様子
旋盤装置の全体像
旋盤を使った火加工で作る石英炉心管(縦型)
石英チャンバー(ベルジャー)

その他の火加工

旋盤を使わずにおこなう火加工もあります。主に石英管(チューブ)の口径の小さい物を曲げたり、伸ばしたり、封じたりする加工や容器類(石英槽)やボート等を作る際の溶接などが代表的な加工です。
旋盤を使わず石英加工の職人が直接バーナーより放射される火によって溶接したり形状を整えたりしていきます。

石英の職人による火炎加工
職人の溶接技術での加工された事例 石英槽
職人の溶接技術での加工された事例 石英ボート
職人の火加工の加工事例 螺旋加工
職人の火加工の加工事例 曲げ・巻き加工
職人による火加工の技術で作られた製品の数々