石英ベルジャー/石英チャンバー
半導体デバイス製造工程の「ドライエッチング工程」「アッシング工程」では石英ベルジャー、あるいは石英チャンバーと言われるものが使われます。
これは石英チャンバーやベルジャーの中で主にプラズマなどを用いてウエハーの表面を削ったり、有機物を除去したりするために使われます。また、ランプアニールなどでもチャンバーやベルジャーは使われます。
ドライエッチング工程で使われるチャンバーはチャンバーの内側がエッチングされ石英の肉厚が徐々に薄くなってきますが弊社では、職人の加工技術によりこの肉厚を極力均等にすることでチャンバーの使用寿命を延ばすようにしています。
石英チャンバーや石英ベルジャーと言われるものには様々形状のものがございますが、図面をいただければ製作可能です。
石英静電チャック（ESC : Electric Static Chuck）
半導体デバイス製造工程の主に「プラズマエッチング工程」で使われる石英静電チャックは文字通り静電気を用いてウエハーを吸着させる製品です。
真空中でウエハーを試料台に固定させる部品としてドライエッチング装置やHDP-CVD装置、PVD装置などにも使われます。真空装置の中で使われますので「真空チャック」は使用できませんので静電チャックが使われます。
また、静電チャックは電気的な力で吸着物を均一に吸着するため、他の吸着方法に比べてウエハーなどの吸着物に対して物理的な負担が少ないとされています。