検査

三次元測定機

三次元測定機は加工した石英製品をステージに載せ、三次元（縦、横、高さ）の座標を取得して製品の形状や幾何公差などを高精度で測定するものです。特に半導体分野で使用される石英製品の中には1/10ｍｍやそれ以上の精度が求められる製品もありますのでそれらの製品は三次元の測定機での検査が不可欠です。

ICP-MS

ICP-MSは溶液中の極微量な無機元素を精確に定量する場合に用いられる分析機です。
通常の石英の検査で用いられることはありませんが、石英の金属不純物の評価に使われます。

歪検査機

歪検査機は石英硝子に「歪（ひずみ）」が溜まっているかを調べる検査機です。

石英硝子に歪が溜まっていると硝子は非常に割れやすい状態の為、火炎加工後は必ず歪を除去するために「アニール」と言われる処理を行い「歪」をとり、製品に「歪」が無いことを確認します。

ノギス

ノギスは石英硝子の材料の受入れ検査から、加工中の寸法測定、最終製品の寸法測定まで石英硝子の製品を作る過程で一番多く使用される測定機器です。

ノギス一つで石英製品の外側寸法 、内側寸法、深さ寸法、段差寸法を測定することができます。本尺目盛にスライダ上のバーニヤ目盛を組み合わせることで、より細かく読み取ることが可能です。

一般的なアナログタイプのノギスの最小読取値は、0.05 mm。0.02 mm単位を読み取るタイプも登場し、用途に応じて使い分ける事も可能です。

現在は0.01 mm単位を表示するデジタルタイプもあり、ノギスの利便性は向上してきています。測定範囲は通常0～300 mm、長尺では2000 mmまで測定できるものがあります。