よくあるご質問
Q&A
-
Q
石英ガラス製の静電チャックは製作可能ですか？
-
A
石英ガラス製の静電チャックは製作可能です。
半導体製造装置向けを中心に、多くの製作実績があります。石英ガラス製静電チャックには、以下のような特長があり、特定の工程で採用されています。
- 高純度でコンタミネーションリスクが低い
- 耐熱性・耐薬品性に優れる
- 半導体プロセス環境に適している
また、用途や要求仕様によっては、アルミナ製の静電チャックが適している場合もあります。
当社では石英製・アルミナ製の両方を取り扱っており、使用条件（温度、雰囲気、コスト、耐久性など）に応じて最適な材質をご提案します。静電チャックの材質選定や製作に関するご相談承ります
使用条件・要求仕様を教えていただければ、最適な静電チャックをご提案します。
石英製とアルミナ製の違いについてもお気軽にご相談ください。