性質
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Q
石英ガラス材料の酸水素溶融品と電気溶融品とはどのような違いがあるのでしょうか?
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酸水素溶融品と電気溶融品は主に石英チューブと石英板などの成形品の成形方法を指しています。
酸水素溶融品は水素ガスで加熱砂を溶かして成形した石英成形品を指します。
これに対し、電気溶融品は電気炉の抵抗ヒーターで加熱溶かして成形した石英成形品のことです。
大きな違いはありませんが、半導体分野で微妙な違いで用途が分けられています。
酸水素溶融品はOH基(水分)の量が多く、酸化膜工程などに使われています。
これは、酸水素溶融品の成形方法により気泡が少ない、工程にもたらす不純物も少ないと考えられているからです。
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Q
失透するのはなぜですか?
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「失透」とはガラスの結晶の状態が準安定な状態(非結晶)から安定的な状態(結晶)に変化することでおこります。
一般的には1,150℃以上で使用していると失透がおこるとされ、1,200℃を越え高温になればなるほど失透が促進されます。
1,000℃以下の低温でも失透がおこることがあります。これはガラスに不純物、特にNa、Ca、Kなどのアルカリ系のもが付着していると低温でも失透現象がおこります。
失透した石英管は再び透明な状態に戻すこともできますので是非お問合せ下さい。