よくあるご質問

半導体部品の洗浄工程は脱脂洗浄、フッ酸洗浄、純水洗浄、乾燥などの工程があります。フッ酸は純水で希釈し、濃度、汚れに合わせて洗浄の時間は調整されます。

半導体製造に使われる部品の洗浄工程は、それぞれの基準が細かく設けられている場合が多いです。

• 脱脂洗浄：部品表面の有機物質の付着量の基準
• フッ酸洗浄：表面エッチングされた量の基準
• 純水洗浄：表面粒子（パーティクル）の量の基準

これらの洗浄のプロセスについては、業界基準や国際基準はなく、ユーザー毎、装置メーカー毎で規定されており公開はされません。各工場における洗浄プロセスの取り決めに従って行われます。

一般的にはレーザー加工の精度は2～3μｍ以上、マシンニング加工は10μｍ以上の精度になります。

上記は一般論であり、実際の加工品にもよって異なります。

加工されたい部品の情報を持ち、弊社とご相談ください。

一般的に合成石英は以下ような性質を持っています。

• 不純物含有量が極めて少ない
• 全波長の光に対して高い透過率（９０％以上）

このような性質から合成石英はよく光学用途に使われます。

これに対し、電気溶融石英は、紫外線部分の波長の透過率が低くなります。不純物も合成石英より若干多くなりますが、その差異はPPMレベルです。

主に不純物の含有量、耐熱性能、耐熱衝撃性能、光学性能の三つの方面が優れています。

この優れた性質のため、石英ガラスは高純度材料として半導体産業でよく使われています。

具体的には、二酸化ケイ素以外の物質はPPMレベルしか入っておらず、不純物を嫌う半導体工程に向いています。
この点、一般のガラス材料は不純物が多く使うことができません。

石英ガラスは耐熱性能も高く、1000度まで耐えますが、一般のガラス材料は700度前後で変形してしまいます。

耐熱衝撃性能ですが、石英は温度変化による膨張はほとんどないため、直接火で焼いても、お湯をかけても割れません。しかし一般のガラス材料はヒビが入ったり割れが生じます。

光学性能では、石英ガラスがほぼ全波長の光を透過させます。これに対し、一般のガラス材料は一部の波長しか透過させることができません。特に紫外線部分の透過は一般のガラスでは難しいため石英ガラスが用いられます。

欠けやクラックの程度によりますが修理可能です。

見積を含めて現品を見させて頂き判断させて頂きます。

写真でも判断できる場合もございますので、スマホでの撮影で結構ですのでお送り下さい。

場合によっては新品購入の金額の方が安い場合もございますので、先ずはご相談下さい。

失透は単に表面に付着物が付いている状態ではなく、石英硝子の準安定的な状態から安定な結晶状態のクリストバライトに変化した状態を言います。

これは高温で長時間使用した場合や表面に不純物が付着した状態で加熱をしたりすると起こります。

一般的に失透は通常1,200度以上に昇温すると始まる言われますが、低温でも表面に不純物が付着している状態ですと失透が起こります。

管製品などの失透を修理するには通常火炎加工（焼き上げ加工）を行うことで透明な状態にすることもできます。

窓のような物は単に付着物が付いてしまっていることが多く、その場合は表面を研磨することで透明状態にすることもできます。

加工用途に合わせた工場をご紹介できます。

工場見学も実施しております。

弊社から用途に合わせた工場に見学を依頼し、許可を頂いて弊社社員がご案内します。

製品内容等によっては、工場見学を制限している企業もあります。その場合は何卒ご了承ください。

具体的な製品仕様や用途が既に決まっておられる場合は、「工場見学希望」と記載の上、詳細をこちらからお問い合わせください。

作成可能です。

半導体業界においても多くの実績がございます。

またアルミナ製の静電チャックも扱っていますので、合わせてぜひご検討ください。

正式な図面が無くても対応は可能です。

現品があれば現品をお送り下さい。

現品がなければ大体の寸法が分かる簡単なポンチ絵を書いて頂くか、大きさの分かる写真をお送り頂ければ製作出来るかの判断は出来ます。

細かな寸法精度を希望される場合はご相談させて頂きます。

石英管の寸法は「内径」「外径」「肉厚」「長さ」によって示されます。

先ずはご希望の寸法をお示し下さい。該当する石英管があるかどうかお調べします。

無い場合は近似値の石英管をご紹介致します。

内外径の精度（公差）は太さによって異なりますが±2～±15％程です。

石英ガラスは耐熱性が高く、急熱急冷にも耐えますが、アニール点は1190℃、ひずみ点は1090℃（透明石英）となり、これ以上の温度で使用した後に急冷しますと、再びひずみを入れる事になりますのでご注意下さい。また、厚いものは薄いものに比べ割れやすくなります。

石英ガラスは耐熱性が高く、急熱急冷にも耐えますが、アニール点は1190℃、ひずみ点は1090℃（透明石英）となり、これ以上の温度で使用した後に急冷しますと、再びひずみを入れる事になりますのでご注意下さい。また、厚いものは薄いものに比べ割れやすくなります。

石英ガラスは耐熱性が高く、急熱急冷にも耐えますが、アニール点は1190℃、ひずみ点は1090℃（透明石英）となり、これ以上の温度で使用した後に急冷しますと、再びひずみを入れる事になりますのでご注意下さい。また、厚いものは薄いものに比べ割れやすくなります。

表面の刻印は可能です。

現在はレーザー刻印になります。

0.5mm以上の石英板であれば問題がございません。

ネジ切り加工は可能です。

インチ規格とメートル規格は両方対応可能です。

最小対応可能サイズはM４ねじとM4ナット、5/32インチより大きいねじとナット。

基本的に平行ねじになります。

テーパー（PT,PS）ねじは密封性を要求してた配管用の規格のため、石英材質に対して該当ニーズは現在のところはありません。

加工後、フッ酸及び純水洗浄にて表面に付着したコンタミを除去します。

フッ酸の濃度は純水で調整して洗浄します。洗浄時間も濃度に合わせて調整します

加工の形状が複雑だったり、付着物が落ちない要であれば超音波洗浄機を使用する場合もあります。

超音波洗浄機を使用する方がコストは割高になります。

機械加工は残留内部歪がありません。

火加工の後に残留内部歪（内部応力）は発生します。

これらの内部歪を除去するためにアニール処理が必要になりますが、処理完了加工品は歪検査機で内部応力を検査します。

弊社はこの歪検査機も取り扱っております。

酸水素溶融品と電気溶融品は主に石英チューブと石英板などの成形品の成形方法を指しています。

酸水素溶融品は水素ガスで加熱砂を溶かして成形した石英成形品を指します。

これに対し、電気溶融品は電気炉の抵抗ヒーターで加熱溶かして成形した石英成形品のことです。

大きな違いはありませんが、半導体分野で微妙な違いで用途が分けられています。

酸水素溶融品はOH基（水分）の量が多く、酸化膜工程などに使われています。

これは、酸水素溶融品の成形方法により気泡が少ない、工程にもたらす不純物も少ないと考えられているからです。

「失透」とはガラスの結晶の状態が準安定な状態（非結晶）から安定的な状態（結晶）に変化することでおこります。

一般的には1,150℃以上で使用していると失透がおこるとされ、1,200℃を越え高温になればなるほど失透が促進されます。

1,000℃以下の低温でも失透がおこることがあります。これはガラスに不純物、特にNa、Ca、Kなどのアルカリ系のもが付着していると低温でも失透現象がおこります。

失透した石英管は再び透明な状態に戻すこともできますので是非お問合せ下さい。

材料証明の発行は可能です。

出来れば見積時など、事前にご用命下さい。

通常であれば納品時に提出できますが、製品により発行に時間がかかる（1ヶ月程度）場合もございます。

書面での発行になります。

正式な発行依頼書があり、内容を埋めていただいてから、該当品と判断しない場合は１週間程度で発行可能です。

紙とPDＦの形はどちらでも発行可能です。

石英ガラスは耐熱性が高く、急熱急冷にも耐えますが、アニール点は1190℃、ひずみ点は1090℃（透明石英）となり、これ以上の温度で使用した後に急冷しますと、再びひずみを入れる事になりますのでご注意下さい。また、厚いものは薄いものに比べ割れやすくなります。